BSLtech Semiconductor LÖSNING
Att utveckla din expertis inom halvledarindustrin kräver ofta renrum eller laminärflödesskåp med hög ISO-klass (ISO 5 eller högre). Har du att göra med UV-känsliga processer? Även då levererar BSL rätt renrum. Renrummen har en högkvalitativ väggfinish och har belysning med UV-filter. Genom att använda antistatiska (ESD) material och antistatiska stänger på filtersystemet neutraliseras den statiska laddningen i luften.
När avgasning inte önskas erbjuder BSL ett renrum av icke-avgasande material (PU). Denna teknik har sitt ursprung i flygindustrin.
Typiska processer inom halvledarindustrin:
● Skydd av underlag och silikonskivor
● EUV-forskning
● Maska aligners
● Vakuumbeläggning, tunnfilmsavsättning
● Utskriftsprogram
● Optik
Front-end och back-end processer