Halvledare

BSLtech Semiconductor LÖSNING

Att utveckla din expertis inom halvledarindustrin kräver ofta renrum eller laminärflödesskåp med hög ISO-klass (ISO 5 eller högre). Har du UV-känsliga processer? Även då levererar BSL rätt renrum. Renrummen har en högkvalitativ väggfinish och har belysning med UV-filter. Genom användning av antistatiska (ESD) material och antistatiska stavar på filtersystemet neutraliseras den statiska laddningen i luften.

När avgasning inte önskas erbjuder BSL ett renrum med icke-avgasande material (PU). Denna teknik har sitt ursprung inom flygindustrin.

Typiska processer inom halvledarindustrin:

● Skydd av substrat och kiselskivor
● EUV-forskning
● Maskskenor
● Vakuumbeläggning, tunnfilmsavsättning
● Utskriftsapplikationer
● Optik

Front-end- och back-end-processer